前段时间  ，逐渐被 被 从上海大复工复产的快速推进  ，东方晶源积极组织形成设备交付其他工作  ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键在于尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付从上海大新客户。据悉出机  ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机作为国内知名晶圆代工厂后 ，再一次可以已拿到头部新客户的青睐和可以已拿到。进而  ，标志着东方晶源硬件新产品即将进入批量交付模式一。

据悉出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515  ，面向300mm硅片工艺制程  ，除具有独特该系列新产品惯往往 高灵敏度电性和物理缺陷检测、有效可以控制 最终解决28nm及以上全部良率最终解决、自主创和新高性能缺陷检测引擎（DNA表现数据库）、认知基础深度研究学习的缺陷自动分类（ADC）算法等新产品特点外 ，东方晶源研发工作团队就在上一代新产品的认知基础上优化优化升级  ，使SEpA-i515具有独特更高的TPT和更优的大平台整体设计  ，设备运行效率、性能指标均有大幅增强。值得一提值得一提 ，上一代新产品SEpA-i505 早就在作为国内头部晶圆代工厂量产四年  ，新产品性能及稳定性可以已拿到充分验证。

另一台交付和新产品为关键在于尺寸量测设备 ，型号为SEpA-c410  ，面向300mm硅片工艺制程  ，对其先进的电子束成像系统功能和高速硅片传输方案  ，配上精准的量测算法  ，可能实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键在于尺寸量测。该设备自前年6月底即将进入作为国内头部晶圆代工厂成立以来产线验证进展顺利  ，阶段性验收成果可以已拿到新客户可以已拿到。

东方晶源电子束量测检测设备  ，依托所承担的大国科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化其他项目  ，几经 数年攻坚克难 ，突破多项核心关键在于传统技术 ，从零部件到整机整体设计制造  ，均具有独特没有自主知识产权  ，填补作为国内空白。截至目前 ，两款设备即将进入批量交付模式一  ，产业化进程拿到丰硕成果。

据悉设备交付的新客户所在趴在海我在国集成电路产业具有独特举足轻重的地位  ，截至目前早成了了作为国内集成电路产业综合平均水平高、产业链完整、产业生态小环境有好集聚地成了。东方晶源愈加看重从上海大大的蓬勃发展和布局  ，继计算光刻各种软件（OPC）即将进入从上海大头部晶圆代工其它企业后  ，硬件新产品正式进入登陆从上海大。为更大的增值服务以上全部海为核心的长三角新客户  ，东方晶源正式进入前年8月份从上海大大设立子新公司  ，构成从上海大总部、从上海大子新公司和从上海大子新公司为核心的三地布局  ，强化其它企业贴近产业前沿高地  ，为集成电路制造其它企业带去优质和新产品和增值服务 ，更大的与上下游其它企业携手强化产业蓬勃发展的进而  ，构筑其它其它企业竞争壁垒。

东方晶源自正式进入正式进入组建成立以来  ，专注于芯片制造关键在于环节的良率可以控制和增强行业领域 ，构成以计算光刻各种软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心和新产品矩阵 ，并向更大其他相关行业领域积极布局。硬件进而  ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发其他工作  ，强化夯真是作为国内电子束检测行业领域领先的整体市场地位和核心传统技术 劣势。各种软件进而  ，光刻工艺严格仿真各种软件PanSim早就在新客户侧对其验证  ，仍将维持7月底release V1.0版本。将来  ，东方晶源将立足通用各种软件大平台和检测装备两大行业领域 ，寻求横纵向蓬勃发展机遇  ，为新客户应用提供愈加多样化和新产品  ，向着作为国内集成电路行业领域良率管理领导者的一个目标奋进。